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SKD2000 全自行晶圓電極臺 實用：6inch、8inch,LSI(大投資整體規模集合ibms運放)和VLSI(太大投資整體規模集合ibms運放)等晶圓檢查。
建立聯系我
設備簡述

適用范圍：

可適用6inch、8inch,LSI(大的總量一體化控制電路設計)和VLSI(很大的總量一體化控制電路設計)等晶圓檢查。

 

尺寸尺寸：

項目編號 業務 方面 備注欄
1 晶圓規格參數尺寸規格參數 晶圓直徑不低于 6/8寸  
2 晶圓寬度 150~1000μm  
3 規格測量誤差 ≤+50μm  
4 Die的尺寸 0.25~100mm  
5 Index Time 循環系統時間間隔 230ms(Die≤5mm)  
6 X/Y軸 表面粗糙度 ≤+2μm  
7 最明顯車速 250mm/s  
8 偵測旅行路線 ≥±120mm  
9 區分率 0.1μm  
10 Z軸 誤差 ≤+2μm  
11 比較大高速度 50mm/s  
12 旅程 ≥47mm  
13 辨認率 0.1μm  
14 θ 可調控規模 ±5°  
15 識別率 0.00007°  
16 廠務規范要求 輸出功率 AC 220V 50/60Hz  
17 CDA 0.6~0.8MPa 管道直徑ф8  
18 真廢氣源 -80~-100KPa 管經ф6  
19 整個機械 外形尺寸(L*W*H) 1370*1475*1300mm  
20 毛重 1500Kg  
21 大功率各種測試 感應電流規模 0~800A 加裝音響
22 進行高壓軟件測試 直流電壓范圍內 0~3000V 配選
23 高底溫測試 熱度的范圍 -60~200℃ 配搭
24 控溫導致精度 ±0.1℃
25 高溫增強性 0.1℃
26 的溫度更加均勻性

≤100℃時≤+0.5℃

>100℃時<±0.5%
     
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