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半導體芯片中的Sorters是一些?
2026-03-20 15:33

Sorters(分選機)是光電器件制做歷程中不宜或缺的重要裝備,大部分中用晶圓的貨物運輸、分選和工作,確定生產標準流程的便捷與陸續性。下是關與Sorters的詳細介紹介紹:

1. Sorters的定義與功能
Sorters是一種自動化設備,用于對晶圓進行分類和篩選。它們能夠根據晶圓的參數(如大小、電性能、光學性能等)進行分選,并確保每個晶圓的品質符合生產要求。Sorters的主要功能包括:
- 晶圓的上下線、制程前分批、制程后合并、制程間倒片。
- 產品出廠校驗、排序、料盒交換等。


2. Sorters的基本器件

Sorters由多個關鍵部件組成,包括:
Load port(接口模塊):用于晶圓的進出,可與晶圓廠的物料傳輸系統集成。
機械臂(Robot):用于抓取和搬運晶圓,確保晶圓在設備內部的精確移動。
晶圓抓手(End effector):通過真空或夾持方式固定晶圓,保證晶圓在移動中的穩定性。
預對準器(Aligner):使用LED照明和圖像識別傳感器,精確檢測晶圓邊緣和Notch槽位置。
控制系統:協調和控制各個部件的運行,實現晶圓的自動分選和分類。

3. Sorters的應用
Sorters廣泛應用于半導體制造的多個環節,包括:
晶圓制造前的準備階段:負責晶圓的裝載和卸載。
光刻、刻蝕和離子注入過程:確保晶圓在不同加工站之間的精確傳輸。
清洗和檢測過程:提高清洗效率和檢測精度。
封裝和后道處理:將晶圓轉移到封裝設備中,進行最終的質量控制。

4. Sorters的重要性
Sorters在半導體制造中扮演著重要角色:
提高效率:通過自動化操作,減少人工干預,提高生產效率。
保證質量:確保晶圓在潔凈室環境中的清潔度和精確性。
優化流程:通過與生產線其他設備的集成,實現數據共享和流程優化。

自始至終,Sorters是半導器件手工制造中無法或缺的儀器,這句話使用自動式化和自動化化的處理方試,確保了晶圓的高效率分選和控制,為半導器件行業領域的優質化量分娩出示了決定性后勤保障。

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